MEMS的技術(shù)發(fā)展趨勢主要表現(xiàn)在以下幾個方面：第一，微型化的同時降低功耗。第二，微型化的同時提高精度。第三，集成化及智慧化趨勢。 目前，MEMS傳感器主要應(yīng)用在汽車、醫(yī)療和消費電子三大領(lǐng)域。 應(yīng)用三大領(lǐng)域汽車、醫(yī)療、消費電子 汽車工業(yè)是傳感器的一個重要應(yīng)用領(lǐng)域。每臺...